擴散硅壓力變送器的工作原理

壓力變送器主要特點抗過載和抗沖擊能力強，過壓可達量程的數倍，甚至用硬物直接敲打測量元件也不致使其損壞，且對測量精度毫無影響；
穩定性高，每年優于0.1%滿量程，這個技術指標已達到智能 型壓力儀表水平；溫度漂移小，由于取消了壓力測量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的 測量精度，且受溫度梯度影響極小；
壓力變送器適用性廣、安裝維護方便、可任意位置安裝。

將水壓這種壓力的力學信號 轉變成電流（4-20mA） 這樣的電子信號
壓力和電壓或電流大小成線性關系，一般是正比關系。
所以，變送器輸出的電壓或電流 隨壓力增大而增大。
由此得出一個壓力和電壓或電流的關系式：
壓力變送器的被測介質的兩種壓力通入高、低兩壓力室，低壓室壓力采用大氣壓或真空，作用在δ元件(即敏感元件)的兩側隔離膜片上，通過 隔離片和元件內的填充液傳送到測量膜片兩側。壓力變送器是由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。 當兩側壓力不一致時，致使測量膜片產生位移，其位移量和壓力差成正比，故兩側電容量就不等，通過振蕩和解調環節，轉換成與壓力成正比的信號。
擴散硅壓力變送器能與各種型號的動圈式指示儀、數字壓力表、電子電位差計配套使用，壓力變送器也能與各種自動調節系統或計算機系統配套使用。
擴散硅壓力變送器通過溫度傳感器把溫度信號變為電信號，再由前置放大器把此電信號放大濾波，送往CPU的A/D 轉換模塊進行模擬量到數字量的變換，最后由CPU進行數據處理并顯示及PWM輸出。原理框圖如下：
被側介質--->傳感器--->電子線路--->輸出信號
被測介質的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴散硅膜片/上，使膜片產生與介質壓力成正比的微小位移，正常工作狀態下，膜片最大位移不大于0.025毫米，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉換成對應于這一壓力的標準工業測量信號。超壓時膜片直接貼到堅固的陶瓷基體/擴散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過壓時膜片的最大位移只能是0.1毫米，所以從結構上保證了膜片不會產生過大變形，該傳感器具有很好的穩定性和高可靠性。